耐激光性能的人造水晶材料
博信光学超市 / 2018-04-04
在使用准分子激光的曝光装置中，作为偏光消除板、波长板等偏光光学元件以及衍射镜等衍射光学元件的材料，人造水晶由于透过率高、价格便宜且易于加工被寄予厚望。但是，采用普通的水热合成法制成的人造水晶面临：长时间照射诸如准分子激光这样的波长短、输出功率高的光时，透过率等光学特性会产生劣化的问题。
因此日本通过将导致劣化的因素——多种杂质的含量控制在一定范围以内，改善了品质和性能，开发出了提高耐激光性能的人造水晶材料。这种人造水晶材料因光透射导致的劣化率可降至原来的1/5以下，有利于提高半导体曝光装置的精度和可靠性。
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