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影响激光反射镜性能的关键因素分析

 

博信光学元件超市 / 2016-03-24

      激光反射镜是激光系统中的重要光学元件,但由于激光的高能量导致激光反射镜成为了易损件,提高反射镜的性能,进而增长其使用寿命,成为该领域的关键技术。

   制约反射镜性能的因素有很多,主要有以下几个方面:

1. 膜层反射率

   膜层的反射率越高,损耗的激光就越少,整个系统的效率就越高。以前, 人们只注意研究如何提高反射率, 单纯靠表面镀膜层的好坏来衡量反射镜的好坏。随着激光能量的不断提高,反射镜承受的功率密度也越高,传统的基底和镀膜标准已不能经受住高能激光的长时间作用。那么,制约反射镜性能的好坏,已不单是反射率,还包括反射镜材料的热性能,材料微观结构,材料的表面性能。

2.基底材料的热性能

   因反射镜不是完全100%反射,总有一部分能量被吸收,这部分能量转化为热能。那么基底材料的热膨胀系数,及局部热应力,及固定架的机械应力等原因,会使镜片变形,严重时使反射镜炸裂;而基底材料的热导率表征了材料的热传导能力,导热系数越大,热传导越快。比如,硅,钼,铜等材料的热性能优于石英晶体,石英晶体又优于K9光学玻璃。

3. 基底材料的微观缺陷

   基底材料的微观缺陷容易受热能的影响而放大,导致基底炸裂,因而,要尽量选择优质的基底材料。在现有的材料中,单晶硅是只做反射镜理想的材料。

4. 表面粗糙度和光洁度

   反射镜表面越光滑,划痕麻点越少,越能承受激光的高能量。对于高能激光,一般要求表面超光滑(粗糙度小于1nmRMS)

   激光反射镜分为冷却反射镜和非冷却反射镜, 对于冷却反射镜(如钼,铜,硅等)不仅要考虑它的光学加工性能, 同时,由于冷却通道结构、冷却管接口以及密封结构等因素,还要考虑它的机械加工性能, 对于非冷却反射镜, 仅考虑它的光学加工性能即可。

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