光学元件检测-柱面镜元件的检测
博信光学元件超市 / 2014-10-18
柱面镜的工艺检测通常是用百分表或千分表完成几个尺寸参数测量。面形偏差和半径偏差的检验用样板来完成。即根据半径要求，先制作一对凸凹球面样板，其半径值与柱面半径一致，即用相应的凸球面样板检验凹柱面的光圈，这需要仔细辨认线“光圈的“高”、“低”及光圈数。当检验凸柱面时，则不可能用凹球面样板检验，只能用上述检验方法得到的良好的凹柱面作为样板，再用此样板去检验凸柱面表面。
关于柱面镜的中心偏检验，在光学车间检验室里流行一种非常简易的方法，即用细氦氖激光束垂直入射到被检验的柱面镜的两个面上（如平凸柱面），在一定的距离L处测量反射点和反射线的偏离量d的大小，来判定柱面镜的中心偏的程度。
美国某公司制订了一整套检验柱面镜的技术项目和方法。
（1）用ZYGO干涉仪加计算柱面全息片检测柱面半径R值及柱面表面面形的不规则性PV值。
（2）用自准直仪或加带镜头的自准直仪及与平行光管配合使用检测柱面镜的ETD、中心偏差，以及母线与基面的平行性、基面与平面的垂直性等。
（3）表面缺陷、膜系等的检测与其他光学元件检验方式类似。
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