光学元件检测-大平面光学元件的检测
博信光学超市 / 2014-10-13
傅科（Foucault）刀口阴影法一直被认为是检查大口径球面反射镜有效、实用的方法。在数字式大口径平面干涉仪出现之前，大口径平面镜的检验方法是由瑞奇-康蒙（Ritchey-Common）于1904年提出的，此法是基于良好的球面反射镜已具备的情况下进行的，即先使用傅科刀口阴影法检验良好的一个球面反射镜作为标准面，将被检验的大口径平面镜置于其检验光路中，用刀口仪在球面反射镜的球心处观测阴影图和像散量的大小及有无来定性或半定量判断大口径平面镜的局部误差和平面镜面“凸”或“凹”的大小。尽管数字式大口径平面干涉仪（口径800mm）已在国内外应用，但某些并未拥有这类干涉仪的车间和场地仍沿用这种方法进行大平面镜的检测。
瑞奇-康蒙法解决定量检测有两条途径：一是用复杂的哈特曼（Hartmann）光阑法计算；二是在球面心处用电荷藕合器件（charged coupled device,CCD）接收器记录阴影图明暗分布并通过计算机处理给出镜面的等高图。但这一运作过程相当复杂，精度的重复性并不理想，镜面的精度越高，越难以保证，故没有推广应用。
近十年来，自制的和进口的口径500mm、600mm，甚至800mm移相式波平面平行平板的高精度定量检验成为现实。
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